KRI 考夫曼离子源电源与控制器

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless. 美国考夫曼离子源历经 30 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射沉积 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源 (离子枪) 中国总代理.

KRI 考夫曼离子源 Power Supply and Control

KRI 考夫曼离子源 Power Supply and Control

Model

离子源 AC Power

Controllers

DC Power

Controllers

RF Power

Controllers

Gas

Controllers

Automated System

Controllers

 

FC1000

DC150-x

RF1000

GC1000

AC1000

 

FC1006

DC300-x

RF1500

 

AC1000C

 

 

DC800-x

 

 

 

 

 

DC1000-x

 

 

 

 

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