霍尔离子源 eH 1000
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霍尔离子源 eH 1000

KRI 离子源 EH 1020 F 产品优点:
EH 1020 F 使用更大功率之阳极电源控制器,可提供更高的离子束电流,以增加更大的使用范围。相较其它同型离子源,增加20%的离子束电流,及40%的阴极电压。
模组化的设计,随插即用。容易维护,体积缩小30%。
低温制程。
更宽的离子束使用范围,适用于大型镀膜机。
整合型的电源控制器。

KRI 离子源 EH 1020F 耐久磁性离子源 (灯丝型)的特点
无栅极设计, 针对低能量制程
单一灯丝, 针对离子化和中和性设计
阳极模组化设计
不锈钢, 相对阳极
不锈钢与石墨材质气体反射器
MFC气体质流量控制器
直径英制一吋bolt-type feedthroughs两组1. 3-conductor electrical feedthrough
18吋长 in-vacuum electrical cable 2. 1/4 吋 OD gas tubing feedthrough
18吋长 in-vacuum flex gas line
EH 1000F 电源供应器/控制器与读取装置
Front panel 监控系统
Soft-start 阴极
900 Watt, 灯丝电源与发射控制器
阳极8A, 300V , 可调整范围 50-300V
限定电流式电路保护装置
离子束自动中和装置
规格: 200/240V, 20A, 单向, 50/60Hz
20尺长, 外部电源供应器连接线
备用灯丝(10支)
离子源安装托架

[选购]
阳极式水冷组

KRI 离子源 EH1020 F 离子能量分布


 

KRI 霍尔离子源 eH 1000 技术参数:

型号

eH1000 / eH1000L / eH1000x02/ eH1000LEHO

供电

DC magnetic confinement

  - 电压

40-300V VDC

  - 离子源直径

~ 5 cm

  - 阳极结构

模块化

电源控制

eHx-30010A

配置

-

  - 阴极中和器

Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode

  - 离子束发散角度

> 45° (hwhm)

  - 阳极

标准或 Grooved

  - 水冷

前板水冷

  - 底座

移动或快接法兰

  - 高度

4.0'

  - 直径

5.7'

  - 加工材料

金属
电介质
半导体

  - 工艺气体

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors

  - 安装距离

10-36”

  - 自动控制

控制4种气体

* 可选: 可调角度的支架; Sidewinder

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